臭氧用于煙氣脫硝時，具有良好的反應選擇性。當煙氣中同時存在二氧化硫及氮氧化物時，臭氧首先與煙氣中的氮氧化物發生反應，利用臭氧的強氧化性，可將煙氣中的氮氧化物（主要為NO）氧化為高價態的酸性氮氧化物氣體，該酸性氣體可被堿性物質吸收，從而達到脫硝的目的。

氧用于煙氣脫硝時，具有良好的反應選擇性。當煙氣中同時存在二氧化硫及氮氧化物時，臭氧首先與煙氣中的氮氧化物發生反應，利用臭氧的強氧化性，可將煙氣中的氮氧化物（主要為NO）氧化為高價態的酸性氮氧化物氣體，該酸性氣體可被堿性物質吸收，從而達到脫硝的目的。

臭氧作為一種強氧化劑，可以容易的將難溶于水的NO氧化成可溶于水的NO2、N2O3、N2O5等高價態氮氧化物。然后在洗滌塔內采用Na2S 和NaOH 等溶液進行吸收，Z終將NOX轉化為N2達到脫除的目的，NOX 的去除率高達95%。采用臭氧脫硝的影響因素主要包括摩爾比、反應溫度、反應時間、吸收液性質、臭氧投加系統等。